世界の半導体機器貿易

製造現場において、温度というのは簡単に調整できるものではありません。それは守らなければならない仕様です。0.5℃の変動だけでウェーハの幅が変わってしまいます。ヒーターから出る粒子さえも、チップを壊してしまう可能性があります。半導体製造機械においては、熱管理が歩留まりや稼働時間、1枚あたりのコストを...