空気を加熱するのはやめよう：ウェーハを処理するためのより効率的な方法 従来の抵抗式オーブンについて話しましょう。確かに機能はしますが、実際には巨大なヘアドライヤーのようなものです。ウェーハを適切な温度にするために、チャンバー全体やその中の空気を加熱するのに莫大なエネルギーが必要です。これは無駄遣い...

MEMSウェーハを問題なく乾燥させる方法 MEMSセンサーを製造する際、最も避けたいのは、水分や溶剤の汚れが製品の品質を損なうことです。しかし、問題は、ウェーハを完全に乾燥させつつ、材料に負担をかけず、また不純物が混入しないようにすることです。 そこで、私たちは短波長の赤外線ヒーターを使用します。...

私たちは、すべてのセンサーを徹底的にテストします。例外はありません。 ウェーハ製造の世界では、わずかな電気漏れがあっただけで、一括して生産されたシリコンが廃棄処分になってしまいます。それは誰も望まない最悪の事態です。 そのため、私たちは「バッチサンプリング」を行いません。数個だけをテストして運を天...

化学物質の近くで赤外線加熱装置を使用する際の安全対策 正直に言って、赤外線ランプを化学物質を使う洗浄工程に導入するのは、まるで火遊びのようなものです。実際、可燃性の溶剤や腐食性のあるガスがある環境では、電気とは相性が悪いのです。わずかな火花やシールの漏れだけで、大惨事につながります。 そのため、私...

なぜ鉛フリーのセンサーには赤外線硬化法を使うのか？ 水素センサーを作るには、バランスを取る必要があります。熱が必要ですが、その温度は正確でなければなりません。だからこそ、私たちは赤外線硬化法を採用しました。これにより、半導体業界が求める「鉛フリー」「環境に優しい」という条件を満たすことができます。...