晶圆厂红外电压调节器

在生产车间，光刻胶烘烤不是可选的——这是你必须遵循的公差。晶圆上的0.5°C漂移在曝光后会表现为线宽变化，这直接导致产量损失，简单明了。我们为生产线红外（IR）设计了电压调节器，以保持热配置在所需的状态：稳定、可重复且可控。 技术上重要的内容 红外加热快，没错，但只有当热场均匀时才有用。我们的调节...