クラス100のクリーンルームでの粒子に関する心配はやめましょう。
クラス100（ISO 5）のクリーンルームを運営していると、わかっていることですが、ほんのわずかなほこりやガスがあっただけで、ウェーハや光学部品がダメになってしまいます。本当にストレスです。一般的な加熱要素は問題の原因になりがちです。それらは剥がれたり、割れたりして、完璧な製品を台無しにしてしまいます。
そのため、私たちは高純度の融結石英製の赤外線ランプを使用しています。
なぜ合成石英を使うのか？
実は、合成融結石英を使う理由は、高温に耐えられるからです。熱衝撃にも強く、高温になっても金属不純物が漏れ出ることはありません。時間が経つにつれて剥がれてしまうコーティングされた要素とは異なり、この透明な石英管は滑らかな状態を保ちます。剥がれないため、空気中に何も混入しないのです。とても簡単です。
熱についての詳細
これらのランプは、非常に速く温度が上昇します。実際、とても速いのです。短波長の光を集中させるため、エネルギーは直接基板上に届きます。周囲の空気を温める時間を無駄にすることはありません。つまり、効率的に熱を供給できるのです。
ちょっとしたヒント：迅速に硬化させたい場合は、高出力のランプを使用してください。しかし、その場合、熱密度が上がるので、取り付けブラケットや配線が熱に耐えられるか確認してください。また、精密な接続部品を使用することで、内部のハロゲンガスがクリーンエリア外に漏れ出るのを防ぎます。
取り付けと維持方法
これらのランプは、簡単に交換できるように設計されています。1つのランプが壊れただけで、全体の加熱装置を再構築する必要はありません。ランプは反射器の中央にちょうど収まるサイズになっているため、最適なIR放射が得られ、エネルギーの無駄も少なくなります。
しかし、最も重要なのは「ガラスに触れないこと」です。高純度の石英は皮脂が苦手です。手袋を着用しないでガラスに触れると、その皮脂が表面に残ってしまいます。これにより熱点ができ、ランプが本来よりも早く壊れてしまいます。必ずノンワックスの拭き布やIPAを使用してください。そうすれば、機器も喜んでくれるでしょう。