クリーンルーム設備のアップグレードが工場で行われている
ナイトメアを止める:IRランプの故障から製造ラインを守る方法 正直言って、半導体製造工場でIRランプが破損すると、それは大惨事です。単にヒーター部品が壊れるだけではありません。石英の破片や化学物質がウエハーに降りかかってしまうのです。高負荷の生産を行っていると、熱応力や電気的なスパイクによって、こ...
製造工程における乾燥部門のエネルギー診断
半導体製造ラインでの電力の無駄遣いをやめましょう。
正直に言って、半導体製造ラインで電力を無駄にするというのは、単にお金を捨てるようなものです。それは運営コストに大きな負担をかけます。
問題は、一般的な反射板があまり効果的でないことです。これらの反射板は赤外線エネルギーをあちこちに散乱させてしまう...
持続可能なファブ製造ソリューション
半導体製造工場で炭素排出量を削減したいのであれば、古い加熱方式を見直す必要があります。それらは時代遅れです。最も大きなメリットは、重くて使いづらい対流式オーブンを廃止し、効率的な赤外線加熱に切り替えることです。
空気を加熱するのはやめよう 伝統的な加熱方式は無駄が多いです。部品を熱するために、チャ...
ファブレーションランプ用クォーツガラスシールド
IR硬化用の石英シールドについての真実
半製品の加工を行う際、適切な乾燥処理を行うのは大変です。私たちはみんな、鉛を含まない環境に優しい基準を採用していますが、そのためにIR硬化技術に頼ることになります。
従来の対流式オーブンでは、部品の周りの空気だけを加熱しますが、IR照射では直接基板に熱が当た...
ステンレス鋼製ヒーターハウジング製造
なぜ、すべてのステンレス製ヒーターハウジングをテストするのか(そして、なぜそれが重要なのか) 工業用ヒーター用のステンレス製ハウジングを作るとき、私たちはそれを単なる高級な金属製のブラケットとして見るわけではありません。そのハウジングこそが、動いている機械と危険な電気的障害との間にある防壁なのです...
カーボンファイバー赤外線ランプ工場
なぜ私たちが従来のオーブンを捨ててカーボンファイバー式赤外線ランプを使うのか?
正直に言って、従来の対流式オーブンはあまり効率的ではありません。部品を乾燥させるために、空気や金属製の容器自体を加熱するために多くのエネルギーが消費されてしまいます。これは非効率的です。
そのため、私たちはカーボンファ...
ファブIR用電圧レギュレーター
ファブフロアでは、フォトレジストのベークは任意ではなく、厳格に守るべき許容範囲です。ウェハ全体で0.5°Cの温度変動があると露光後の線幅バラつきとなり、それが収率低下に直結します。我々のファブ用IR電圧レギュレータは、熱プロファイルを安定かつ再現性を持って制御範囲内に維持するために設計されています...