空気を加熱するのはやめよう：ウェーハを処理するためのより効率的な方法
従来の抵抗式オーブンについて話しましょう。確かに機能はしますが、実際には巨大なヘアドライヤーのようなものです。ウェーハを適切な温度にするために、チャンバー全体やその中の空気を加熱するのに莫大なエネルギーが必要です。これは無駄遣いです。
だからこそ、私たちは赤外線加熱方式を採用しています。部屋全体を温める代わりに、熱を直接ウェーハに当てます。これにより、より効率的で、クリーンルームが無駄に電力を消費することもありません。
正確な温度制御
この業界では、温度が少しでもずれると、大量のシリコンが無駄になってしまいます。それは誰も望まない事態です。
私たちは短波放射を利用して、数秒でウェーハを所定の温度にします。これは放射熱なので、装置自体を温めるためにエネルギーを無駄にすることはありません。私たちは、均一で安定した温度を実現するために、ワット数と面積の比率にこだわります。
背後にある技術
これらの装置はタングステンフィラメントと高純度の石英を使って作られています。しかし、ここがポイントです。石英には特別なコーティングが施されています。なぜでしょうか？それは、ウェーハがエネルギーを吸収し、鏡のように反射しないようにするためです。
また、これらのランプには即座に反応するPIDコントローラーが組み込まれています。熱をすぐに上げたり、停止させたりできます。これにより、プロセスがスムーズでコントロールしやすくなります。
デメリットとその対処法
もちろん、何かしらのトレードオフがあります。高出力の赤外線装置は強力ですが、冷却システムに大きな負担をかけます。
もし冷却システムが十分でなければ、装置の内部が過度に高温になります。その結果、センサーの誤動作やフィラメントの焼損が起こります。したがって、冷却システムがその強度に追いつけるようにしなければなりません。
しかし、その努力は報われます。不要なエネルギーの消費を抑えることで、電気代が削減され、二酸化炭素排出量も減少します。そして、チップが正常に動作するための厳格な仕様を犠牲にすることなく、「グリーン」な工場を実現できます。