
我们会对每一个传感器进行测试,没有例外。在晶圆制造领域,哪怕只有一处微小的电气泄漏,都可能导致整批硅片报废。这简直就是一场噩梦,没人愿意遇到这种情况。
因此,我们不会采用“随机抽样”的方式。我们不会只检测少数几个样品,然后寄希望于最好的结果。每一种离开我们工厂的传感器,都必须经过100%的耐压测试和绝缘电阻测试。每一个传感器都是如此。
电介质击穿的隐患
在晶圆加工设备中,高压加热元件与极其敏感的半导体基底紧密相邻。在这种环境下,绝缘性能必须达到极致标准。为了确保这一点,我们会将电压提升到远高于正常工作标准的水平。这样就能检测出那些肉眼看不见的缺陷——比如石英材料中的微小孔洞或陶瓷材料的轻微老化现象。如果发现哪怕只有几毫安的电流泄漏,那这个传感器就会被直接废弃。
为什么不能只进行随机抽样
随机抽样其实是一种冒险行为,而高精度的设备显然不适合用这种方式来检测。想象一下,绝缘层中出现了一丝裂纹——这种裂纹是看不见的。但一旦它存在于设备中,就可能会引发电弧现象,从而导致电气干扰或直接短路,进而使整个系统停止运转。
通过逐个测试每个传感器,我们可以确保从它们离开我们的工厂开始,直到被安装到洁净室中之前,其绝缘性能始终处于最佳状态。
效率与空间的权衡
问题在于:如果需要极高的绝缘性能,就需要使用更多的材料。这意味着需要更厚的陶瓷外壳或特殊的涂层。这当然会使得传感器变得更大。你需要在传感器的尺寸与设备内部空间之间找到平衡点。如果你需要的是具有极高绝缘性能的传感器,那么一定要确保其安装支架有足够的空间来容纳它。
当你的订单到达时,你会收到每个传感器序列号的测试报告。这样,你就可以放心地将其安装在设备上,因为你知道它的绝缘性能足以承受工作时的高压。