実際に重要な場所により多くの熱を与える：金メッキされたIRエミッター
シリコンウェーハを加熱する際、わずかなエネルギーも無駄にできません。通常のIRエミッターの問題点は、熱が漏れ出してしまうことです。加えられた熱の大部分がランプの背面から逃げてしまい、結果として電力が無駄に消費され、装置が不要に加熱されてしまいます。
私たちは、石英に金をコーティングすることでこの問題を解決しました。
**なぜ金か？**それは、赤外線を効果的に反射するからです。アルミニウムや磨かれた鋼鉄では、これには敵いません。エミッターの背面に金層を施すことで、熱が筐体の外に逃げるのを防ぎ、逆にウェーハの方へ熱が戻されます。
そうすることで、電源の出力を上げることなく、より高い表面温度を得ることができます。つまり、より効率的なのです。
しかし、重要なのは石英だけではありません。電流が直接当たる部分、つまりエンドキャップも重要です。ここには高品質のセラミックを使用しています。なぜかというと、温度変動が激しいからです。安価なキャップでは熱に耐えられず、割れたり、電極が酸化したり、最悪の場合は故障してアークが発生します。これはランプを破壊する原因になります。私たちのセラミックキャップは、高ワット数の状態でもシールをしっかり保ち、システムを安定させます。
ただし、いくつか注意点があります。
この装置は非常に高い熱密度を発生させます。そのため、ウェーハが急速に加熱されます。**本当に速いです。**目標温度を超えないように、PIDコントローラーをしっかりチェックする必要があります。
また、金は少しデリケートです。環境が汚れていると、コーティングが劣化し、効率が低下します。必ず清潔にしておきましょう。
最良の点は、これらがそのまま交換可能だということです。装置を改造する必要はありません。既存の電源回路に接続するだけで、金が効果的に熱を発生させてくれます。
部品自体により多くの熱が行き渡り、空気中の熱は減少します。それだけです。