熱を無駄にしないでください：なぜ金コーティングされたIRランプが重要なのか
半導体ウエハーを加工する際には、1ワットというエネルギーも大切です。一般的な石英ランプは、エネルギーを360度全方向に放出します。しかし、ウエハーは片側にしかありません。つまり、無駄に装置の内部を加熱してしまっているのです。
これを解決するために、ランプの背面に高純度の金の薄層を塗布しました。金は赤外線を効果的に反射します。その反射率は98％以上です。これは熱を「より良く」するためではなく、単に熱を正しい方向に向けるためのものです。エネルギーがランプの筐体に失われる代わりに、直接ウエハーに戻されます。
その結果、より均一な温度分布が得られ、再加熱にかかる時間も短縮されます。最良な点は、電源からの電流を増やすことなく、十分なパワーを得られることです。
ハードウェアの詳細
これらのランプは、過酷な温度に耐えられるように設計されています。工具のサイズに合わせて、出力や電圧を調整することができるので、既存の電源とも問題なく連携します。
迅速な硬化や乾燥が必要な場合は、高出力のランプが適しています。ただし、その場合、ソケットに大きな負担がかかります。また、短い管に多くの電力を供給すると、石英の端が破損する可能性があります。私たちはフィラメントを正確に配置することで、この問題を解決しています。
注意点
正直に言うと、金コーティングには初期費用がかかります。また、取り付ける際にも注意が必要です。金の層に指紋や傷がつくと、「冷たい部分」ができてしまいます。300mmウエハーの場合、このような不均一な加熱は大きな問題になります。
また、コーティングされていないランプから切り替える場合は、表面温度が急上昇することに備えておく必要があります。エネルギーが集中するためです。冷却ファンやヒートシンクが余分な負荷に対応できるかを必ず確認してください。さもないと、近くにあるセンサーが破損してしまう可能性があります。