クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
クラス100のクリーンルームで作業する際、熱は大きな問題となります。単に適切な温度を維持するだけでは不十分で、半導体ウェーハや医療用インプラントにほこりや化学物質が付着しないようにしなければなりません。わずかな汚れでも、製品全体がダメになってしまいます。
そのため、私たちは高純度の合成石英製のIRランプを使用しています。これらは、他の装置では機能しなくなりがちな、汚れが多い洗浄環境向けに特別に設計されています。
なぜ石英なのか？
私たちは融解シリカ製の石英を使用しています。なぜなら、何度も加熱・冷却されても剥がれたり壊れたりしないからです。
正直に言えば、洗浄時には水分が最大の敵です。たった1滴の水がフィラメントに触れるだけで、ランプはすぐに壊れてしまいます。これは非常に厄介で、生産効率を著しく低下させます。私たちの石英製ランプは、水分が入らないように厳重に密閉されており、金属不純物が生産ラインに混入することもありません。
シールが鍵です
ほとんどのランプは、シール部分が劣化して故障します。それだけです。
私たちは、配線部に密閉構造を採用して、「毛細管作用」による水分の侵入を防ぎます。これにより、完全に洗浄されても短絡しないランプができます。
また、デザインもシンプルにしています。なぜかというと、大きな機器は空気の流れを乱してしまうからです。層流を維持するためには、シンプルなデザインが必要です。
ちなみに、これらのランプを高密度に配置する場合は注意が必要です。これらの管は非常に熱くなります。冷却ファンやヒートシンクが十分に機能していないと、ケースが溶けてしまう可能性があります。
汚れなく乾燥させる
これらのランプは、化学薬品で洗浄した後の「乾燥」段階に最適です。
IR光によって液体膜が瞬時に蒸発します。最良な点は、実際には何も部品に触れないということです。拭く必要もなく、エアナイフの使用も不要で、機械的な摩擦もありません。ただ、純粋で迅速な熱だけで済みます。
もし、遅いオーブンにうんざりしていて、汚染のリスクなしに簡単に処理できる方法を探しているなら、これが最適です。